かくれ里

水曜日, 7月 01, 2026

露光装置

 

最新のICチップには数十億個のトランジスターが入っているが、どのようにして作るのか関心がある。それを作るのには巨大な露光装置がいる。 

これらの装置は、高エネルギーレーザーでプラズマを生成し、波長13.5ナノメートルの光をつくり、シリコンウエハーの表面に照射してチップの設計をする。 

この装置を作っているのが、オランダのASML社と日本の東京エレクトロンとアメリカの1社があるだけだ。この装置は一台200億円するそうだ。 

生成AIの発展と共に、ICの世界はこれからも進化すると思うが、宇宙空間にデーターセンターを構築する計画などもあって、想像がつかない時代になった。